Plasma in general 전자 온도 구하기

2021.06.16 14:00

피했습니다 조회 수:1188

안녕하세요 교수님 언제나 좋은 정보 감사합니다.

 

저는 건식 세정 장비 회사에 다니는 엔지니어 입니다.

 

책을 통해서 공부를 하고 있는 중 플라즈마 전압과 플로팅 전압 차를 이용해 이온이 기판에 충돌하는 에너지를 구하는 식을 배웠습니다.

(식은 혹시 몰라 첨부파일에 사진으로 올렸습니다.)

 

그래서 저희 장비 기준으로 충돌 에너지를 구해 보고자 했는데, 문제는 Te 항인 전자의 온도를 어떻게 구해야하는지 모르겠어서 이렇게 문의 드립니다.

 

플라즈마 전자의 온도를 어떻게 구할 수 있나요?

 

그리고 분모에 있는 e = 1.6 * 10^-19 C 이 맞는지요 ? 

 

감사합니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20491
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57410
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
270 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1224
269 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1214
268 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1212
267 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1205
266 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1190
265 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1188
» 전자 온도 구하기 [1] file 1188
263 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1188
262 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1186
261 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1180
260 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1178
259 공정플라즈마 [1] 1175
258 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1175
257 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1174
256 wafer bias [1] 1164
255 Group Delay 문의드립니다. [1] 1161
254 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1158
253 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1155
252 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1155
251 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1152

Boards


XE Login