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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion]
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254 |
플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
[1] | 1452 |
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동]
[1] | 1452 |
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252 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정]
[1] | 1451 |
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251 |
Group Delay 문의드립니다. [마이크로파]
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쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion]
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langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground]
[1] | 1439 |
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248 |
Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]
[2] | 1434 |
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247 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1426 |
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246 |
plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학]
[1] | 1420 |
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245 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
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244 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
[1] | 1401 |
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플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리]
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Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념]
[1] | 1391 |
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고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
[1] | 1378 |
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PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어]
[1] | 1374 |
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O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존]
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전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb]
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주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating]
[1] | 1340 |