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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75282
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255 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1469
254 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1452
253 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1452
252 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1451
251 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1441
250 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1440
249 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1439
248 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1434
247 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1426
246 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1420
245 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1407
244 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1401
243 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1399
242 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1391
241 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1378
240 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 1374
239 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1364
238 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1363
237 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1350
236 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating] [1] 1340

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