질문 ::

planar ICP를 만들면서 (아직 완성 못 했슴) 조그만 helical coil ICP(유리관 주위로 코일 감음)를 만들어 플라즈마를 생성시켜 봤습니다. 그런데 플라즈마가 안정하지가 않고 세졌다 약해졌다 (reflected power가 거의 0%에서 대충 80~90% 가까이까지 왔다갔다 합니다.)를 반복합니다. 제가 체크해볼 수 있는 사항에는 어떤 것들이 있을까요?
그럼 다시 감사드리며.. 새해 복 많이 받으십시요.

답변 ::

압력과 전력을 낮추고 플라즈마를 좀 더 오랜시간을 켜 놓으세요.
플라즈마도 새로운 환경에 적응하려면 시간이 걸립니다.
 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103378
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61543
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73525
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105967
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 25005
213 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27600
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41683
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23629
210 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20468
209 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 18807
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23411
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21548
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 24208
205 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 19415
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21609
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 25190
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 26981
201 몇가지 질문있습니다 16646
200 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22250
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18472
198 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 30063
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18455
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19454
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19888

Boards


XE Login