Deposition 플라즈마 코팅에 관하여
2004.06.25 16:45
질문 ::
저는 직장에 다니는 회사원입니다. 얼마전 선배로 부터 플라즈마 코팅이라는 것을 문의 받았는데, 정확한 답변을 할 수가 없었습니다. 플라즈마 코팅의 원리와 국내 전문가를 소개시켜 주실 수 있는지요?
답변 ::
플라즈마를 이용한 코팅을 한마디로 설명하기는 어렵지만 간단히 생각해 보면 화학물이 시편 표면을 덮는데 플라즈마 환경을 이용한다고 생각할 수 있습니다. 플라즈마는 화학물의 활성에너지를 제공하거나 화학물이 시편 표면과 잘 반응하도록 합니다. 특히 플라즈마 내의 전자에 의해서 기체 상태의 화학물들은 해리되어 래디컬을 형성하여 시편 표면과 활발하게 반응하여 표면에 정착하게 됩니다. 이들 화학물은 시편 표면에 작은 섬을 만들고 그 섬 주변으로 점차 커지는데 이런 섬들이 많아지면 옆의 섬과 연결되면서 시편 전체를 덮게 됩니다. 따라서 시편과 코팅 목적에 알맞는 화학물을 선택하는 것이 매우 중요하며 플라즈마를 이용하고자 한다면 화학물을 기체상태 속에 넣을 수 있어야 합니다. 이렇게 플라즈마의 도움을 받아 표면에 화학물을 코팅하는 기술을 PECVD 혹은 PACVD라고 합니다. 이에 관한 연구는 대단히 활발함으로 주변의 대학 재료공학과에서 전문가를 쉽게 찾으실 수 있을 것 입니다. 혹은 본 란에 답글을 자주 올려주시는 군산대학의 주정훈 교수님이나 울산대학의 천희곤교수님을 찾아 원하시는 코팅에 대한 자문을 받아 보시는 편이 좋을 것 같습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20847 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93631 |
199 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 18096 |
198 | matching box에 관한 질문 [1] | 29750 |
197 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18328 |
196 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19378 |
195 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19636 |
194 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22590 |
193 | 플라즈마 측정기 [1] | 21375 |
192 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22307 |
191 | Arcing [1] | 28704 |
190 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24806 |
189 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18876 |
188 | 궁금해서요 | 16345 |
187 | PM을 한번 하시죠 | 19747 |
186 |
CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마...
[1] ![]() | 20440 |
185 | Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] | 22872 |
184 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19267 |
183 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19486 |
182 | 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] | 26566 |
181 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21554 |
180 | RF에 대하여... | 32196 |