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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[159]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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645 |
plasma 형성 관계
[1] | 935 |
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644 |
RF matcher와 particle 관계
[2] | 1518 |
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643 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 2863 |
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642 |
Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
[1] | 4206 |
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641 |
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 719 |
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640 |
식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 742 |
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639 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 864 |
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638 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3600 |
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637 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1060 |
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636 |
Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 807 |
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635 |
Uniformity 관련하여 문의드립니다.
[1] | 802 |
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634 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 846 |
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633 |
ICP 대기압 플라즈마 분석
[1] | 508 |
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632 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 1364 |
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631 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 629 |
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630 |
안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
[1] | 375 |
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629 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 716 |
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628 |
ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 1168 |
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627 |
ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요?
[1] | 7577 |
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626 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 2770 |
