Plasma Source RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭]

2024.02.08 07:35

별의목소리 조회 수:641

안녕하세요..

RF를 사용한 플라즈마를 만들때 RF는 파동형태로 전달이되며 임피던스가 맞지 안으면 반사되어 되돌아오는걸로 알고 있습니다.

RF도 교류이기때문에 전기공학에 쓰이는 전기처럼 전압,전류의 위상차로 인해 발생하는 무효전력이 power source로 되돌아 온다고 보면 될까요?아니면 RF(13.56MHZ)의 반사파를 설명할때 다른 원리로 설명을 해야할까요?

임피던스, 리엑턴스와 같은건 전기공학에 나오는 식으로 RF도 같이 설명이 가능한것 같은데 RF의 반사파(reflector power)는 무효전력 개념으로(공식)  설명(이해)을 해도 되는지가 궁금합니다..

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102994
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24692
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61455
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73492
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105866
53 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 521
52 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 499
51 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 485
50 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 484
49 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 478
48 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 477
47 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 475
46 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 472
45 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 471
44 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 467
43 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 463
42 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 459
41 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 455
40 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 450
39 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 448
38 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 440
37 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 434
36 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 432
35 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 432
34 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 429
쓰기
태그

Boards

XE Login