번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [255] 76401
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19989
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57065
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68537
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91253
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 792
693 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 571
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 581
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 28639
690 plasma modeling 관련 질문 [1] 375
689 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 678
688 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 710
687 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1104
686 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2356
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 986
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 690
683 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 910
682 RF Sputtering Target Issue [2] file 529
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 566
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1729
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 448
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 526
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 600
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 519
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1087

Boards


XE Login