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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
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709 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 435
708 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 398
707 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 614
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699 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1172
698 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 366
697 ICP lower power 와 RF bias [1] 1434
696 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 575
695 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 869
693 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 609
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 609
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 28721
690 plasma modeling 관련 질문 [1] 387
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