안녕하세요 전자공학과 4학년으로 재학하며, 반도체 공정을 진단하는 회사에서 인턴을 진행하고 있습니다.

 

OES 정보를 이용하여 반도체 공정 데이터를 분석하는 도중, OES 분석을 진행할 때, 특정원소에 대한 정보가 필요한 상황입니다.

 

CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.

해당 게시글에서 김곤호 님의 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요. "

 

라는 답변을 참고하여 송미영 박사님께 컨택을 드리고 싶은데 한국핵융합에너지연구원 홈페이지에 정보가 부족하여 어려움을 겪고 있습니다.

혹시 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트"라고 말씀하신 곳의 자세한 정보나, 송미영 박사님 컨택 경로에 대해 자세히 알 수 있을까요?

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102868
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24688
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61418
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73479
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105834
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 1025
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 475
751 standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해] [1] 948
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 578
749 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1396
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 606
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 1432
746 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1623
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 841
744 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 634
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 585
742 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 768
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 676
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 872
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating] [1] 1235
738 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 1076
737 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 836
736 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 583
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 601
734 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1184

Boards


XE Login