OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:792

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20846
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 829
738 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 766
737 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 507
736 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 372
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 421
734 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 705
733 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 331
732 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 403
731 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 279
730 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 717
729 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 666
728 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 409
727 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 594
726 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 403
725 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 824
724 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 689
723 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 445
722 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 215
721 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 185
720 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 471
쓰기
태그

Boards

XE Login