OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:714

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92262
708 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 397
707 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 612
706 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 314
705 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1006
704 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 586
703 self bias [1] 527
702 Self bias 내용 질문입니다. [1] 812
701 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 698
700 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 615
699 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1170
698 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 364
697 ICP lower power 와 RF bias [1] 1433
696 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 574
695 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 867
693 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 607
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 608
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 28717
690 plasma modeling 관련 질문 [1] 387
» 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 714

Boards


XE Login