Others 반도체 관련 플라즈마 실험

2022.08.08 11:39

민정 조회 수:1281

고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 630
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 557
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1186
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1214
673 Plasma Arching [1] 1069
672 Polymer Temp Etch [1] 673
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1017
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 489
669 플라즈마 관련 교육 [1] 1414
» 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1281
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 452
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 813
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 892
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 830
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 5081
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1259
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 698
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 612
659 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1469
658 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 488

Boards


XE Login