안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103379
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61543
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73525
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105968
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1479
693 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 947
692 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 854
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [Etching] [1] 30339
690 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 569
689 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1193
688 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 985
687 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1412
686 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2472
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation] [1] 1811
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1332
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1446
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1100
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 962
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2708
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 850
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 728
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 949
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 957
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1767

Boards


XE Login