안녕하세요 전자공학과 4학년으로 재학하며, 반도체 공정을 진단하는 회사에서 인턴을 진행하고 있습니다.

 

OES 정보를 이용하여 반도체 공정 데이터를 분석하는 도중, OES 분석을 진행할 때, 특정원소에 대한 정보가 필요한 상황입니다.

 

CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.

해당 게시글에서 김곤호 님의 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요. "

 

라는 답변을 참고하여 송미영 박사님께 컨택을 드리고 싶은데 한국핵융합에너지연구원 홈페이지에 정보가 부족하여 어려움을 겪고 있습니다.

혹시 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트"라고 말씀하신 곳의 자세한 정보나, 송미영 박사님 컨택 경로에 대해 자세히 알 수 있을까요?

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22005
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58788
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70426
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96424
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 955
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1196
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 786
» OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 762
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2229
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 634
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 642
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 780
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 747
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1412
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1500
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1245
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 895
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1190
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 635
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1627
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1596
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 552
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 899
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1050

Boards


XE Login