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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64218
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512 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 877
511 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 878
510 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 880
509 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 882
508 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 890
507 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 891
506 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 891
505 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 894
504 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 902
503 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 911
502 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 940
501 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 941
500 플라즈마 코팅 [1] 957
499 Group Delay 문의드립니다. [1] 959
498 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 967
497 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 974
496 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 980
495 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 986
494 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 986
493 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 993

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