안녕하세요. 교수님

 

저는 최근 챔버내 Arcing 개선방안에 대해 연구하고 있어서 이 홈페이지에서 Arcing관련 댓글 및 게시글은 전부 읽어보고 이해하려 노력해보았습니다.

그런데도 제가 하려고하는 방향이 옳은지 확신이 들지 않아 질문드립니다.

먼저 source로는 상부의 MW와 하부 ESC쪽 RF를 사용하며 중진공상태에서 공정합니다.

저는 Arcing이 발생되는 원인 중 하나인 전하 축적이 예상되는 파트를 줄이려고 생각했습니다.

챔버내 부품 중 Ground가 되지않은 파트들이 전하축적이 일어날 것이라고 생각해서 이 파트들을 Ground처리를 하거나 파트의 재질을 세라믹 등 절연체로 변경하는 등의 방안을 생각했었습니다.

그런데 Ground가 되어있지 않은 몇몇 부품들의 재질을 알아보니 Al재질이고 50um~80um정도로 Hard Anodizing이 된 부품들이었습니다.

구글링해보니 경질 아노다이징이 되어있는 Al의 절연파괴 전압은 1000V이상으로 이미 거의 절연체에 가까워서 이 몇몇 파트를 Ground처리를 한다고하여 Arcing이 개선될지 의문이 생기게 되었습니다.

그리고 실제 Arcing이 발생된 파트는 Ground와 무관하게도 챔버내 전혀 다른 part 였기도 해서 제가 생각한 방안이 효과가 어느정도로 잇을지.... 교수님의 사견이 궁금해서 질의드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102693
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24672
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61385
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73454
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105780
513 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [Matcher와 dynamic impedance] [1] 1778
512 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1784
511 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1786
510 SI 표면에 Ar Plasma Etching 하면 안되는 이유 [표면 전처리] [1] 1791
509 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation] [1] 1793
508 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1809
507 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1825
506 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1828
505 Plasma etch 관련 질문이 드립니다. [Sheath와 uniformity] [1] 1839
504 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1843
503 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1851
502 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1856
501 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1863
500 Plasma Cleaning 관련 문의 [Remote plasma source] [1] 1867
499 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1872
498 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1890
497 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable] [1] 1896
496 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 1898
495 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 1916
494 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1931

Boards


XE Login