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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[160]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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366 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 2612 |
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365 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 2632 |
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364 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 2653 |
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363 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 2723 |
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362 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1] | 2742 |
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361 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 2772 |
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360 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 2789 |
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359 |
Plasma 에칭 후 정전기 처리
[3] | 2809 |
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358 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 2832 |
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357 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 2864 |
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356 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 2879 |
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355 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 2927 |
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354 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 2938 |
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353 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 2946 |
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352 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 2994 |
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351 |
Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 3058 |
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350 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3087 |
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349 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
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348 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3145 |
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347 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3148 |
