번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18862
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56341
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66848
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88322
699 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 271
698 plasma modeling 관련 질문 [1] 290
697 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 290
696 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 294
695 self bias [1] 301
694 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 301
693 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 315
692 plasma striation 관련 문의 [1] file 316
691 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 318
690 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 318
689 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 330
688 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 338
687 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 344
686 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 347
685 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 350
684 RF Sputtering Target Issue [2] file 352
683 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 358
682 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 358
681 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 359
680 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 363
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