Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:447

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4917
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16262
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63764
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83575
619 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 418
618 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 419
617 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 419
616 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 420
615 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 427
614 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 429
613 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 432
612 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 436
611 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 436
610 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 439
609 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 443
608 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 444
607 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 445
» 활성이온 측정 방법 [1] 447
605 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 448
604 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 450
603 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 450
602 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 454
601 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 455
600 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 457

Boards


XE Login