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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66842
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88302
519 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1056
518 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1056
517 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1063
516 자기 거울에 관하여 1065
515 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1070
514 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1077
513 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1092
512 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1099
511 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1104
510 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1114
509 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1120
508 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1125
507 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1126
506 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1128
505 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1134
504 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1134
503 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1137
502 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1140
501 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1147
500 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1157
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