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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53041
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64478
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85095
478 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1190
477 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1206
476 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1211
475 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1214
474 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1216
473 MATCHER 발열 문제 [3] 1220
472 charge effect에 대해 [2] 1221
471 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1232
470 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1234
469 Ar plasma power/time [1] 1237
468 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1237
467 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1238
466 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1240
465 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1243
464 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1251
463 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1262
462 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1263
461 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1265
460 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1267
459 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1269

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