번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73034
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17617
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86030
306 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6482
305 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6490
304 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6509
303 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6689
302 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7281
301 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7405
300 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7533
299 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 7582
298 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7597
297 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7679
296 MFP에 대해서.. [1] 7692
295 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 7820
294 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7953
293 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7960
292 고온 플라즈마 관련 8045
291 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8143
290 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8363
289 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8397
288 수중플라즈마에 대해 [1] 8443
287 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8508

Boards


XE Login