Matcher ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
2013.04.22 15:03
안녕하세요~
반도체 회사에 근무하는 엔지니어 입니다.
ICP Type의 장비를 다루는데 RF source가 Top(1.8MHz)/Side(2.0MHz)/Bias(13.56MHz)로 구성되어 있고,
Ar gas로 50mTorr의 압력으로 상승 시킨후에 Top RF부터 인가하게 됩니다. (Top의 Antenna 권선수 n= 4 , Side=2)
궁금한 점은 Top을 plasma ignition시 잘 켜지는데, Side부터 인가하게 되면 reflection이 input값만큼 뜨면서 ignition fault가 발생합니다.
TOP이 권선수가 많아 전자의 속도가 더 빨라서 그런것인가요??
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76749 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92307 |
290 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8652 |
289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8725 |
288 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8743 |
287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8921 |
286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8982 |
285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9033 |
284 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9232 |
283 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
282 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9510 |
281 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9521 |
280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9637 |
279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9666 |
278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9843 |
» | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9850 |
276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9969 |
275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10302 |
274 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
273 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10361 |
272 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10379 |
271 | RGA에 대해서 | 10543 |