Plasma Source RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
2018.11.20 16:00
안녕하세요 저는 RF Plasma 관련 직종에 근무하는 직장인 입니다.
RF generator에서 Frequency tuning (주파수 가변) 기능을 사용하고 있는데, 주파수 변화에 따라서 Matcher에서 읽혀지는 Vrms 값이 심하게 변화하는것을 확인하였습니다.
Frequency 높아질수록 (13.56Mhz 기준) Vrms 높아짐 / Irms 큰변화 없음 / Phase 높아 지는데, 왜 Frequency 변화에 따라 Vrms와 Phase가 변하고, Irms는 큰 변화가 없는 것일까요?
주파수에 따른 Vrms, Irms, Phase의 연관성을 알수 있을까요.
조언 부탁드립니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76840 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20252 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68743 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92587 |
| 276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9997 |
| 275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10311 |
| 274 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10367 |
| 273 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10381 |
| 272 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10398 |
| 271 | RGA에 대해서 | 10549 |
| 270 | DC bias (Self bias) [3] | 11280 |
| 269 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11416 |
| 268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11460 |
| 267 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11468 |
| 266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12363 |
| 265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12510 |
| 264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12765 |
| 263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12812 |
| 262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13062 |
| 261 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13205 |
| 260 | 플라즈마의 상태 | 14081 |
| 259 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14143 |
| 258 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
| 257 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14476 |