번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [339] 233336
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 68919
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 106053
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 118257
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 200597
298 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 10498
297 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 10502
296 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 10547
295 대기압 플라즈마에 대해서 10567
294 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [Bias power] [1] 10594
293 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 10611
292 에칭후 particle에서 발생하는 현상 10682
291 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 10708
290 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 10977
289 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 11000
288 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 11045
287 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 11120
286 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 11355
285 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 11483
284 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 11508
283 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 11594
282 RGA에 대해서 11682
281 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 11897
280 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 11984
279 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 12078

Boards


XE Login