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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66844
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619 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 604
618 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 607
617 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 611
616 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 632
615 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 632
614 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 632
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612 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 637
611 ICP 후 변색 질문 640
610 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 646
609 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 647
608 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 648
607 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 656
606 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 656
605 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 660
604 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 661
603 Plasma Arching [1] 666
602 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 668
601 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 684
600 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 694
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