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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66859
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579 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 795
578 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 799
577 전자 온도 구하기 [1] file 803
576 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 803
575 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 807
574 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 815
573 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 817
572 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 826
571 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 835
570 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 835
569 Plasma Generator 관련해서요. [1] 837
568 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 847
567 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 848
566 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 855
565 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 856
564 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 863
563 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 863
562 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 876
561 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 876
560 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 879
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