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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69135
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93384
676 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 642
675 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 646
674 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 647
673 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 649
672 PECVD Uniformity [1] 649
671 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 651
670 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 651
669 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 655
668 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 663
667 RF Sputtering Target Issue [2] file 665
666 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 668
665 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 673
664 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 678
663 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 681
662 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 682
661 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 690
660 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 700
659 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 703
658 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 704
657 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 707

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