안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76922
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20306
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57224
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68773
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92752
800 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. new 4
799 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 17
798 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 22
797 Druyvesteyn Distribution 24
796 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 24
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 34
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 36
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 66
792 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 69
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 73
790 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
789 플라즈마 설비에 대한 질문 79
788 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 81
787 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 83
786 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 88
785 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 90
784 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
783 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 100
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 122
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124

Boards


XE Login