안녕하세요, 수처리 분야 회사에 재직 중인 최진호 연구원이라고 합니다. 

 

수처리 살균 기법으로 저온 플라즈마에 관심을 갖고 있는데요,

검색이나 여러 논문을 조사해보아도 정보를 찾을 수 없었다가,

여기까지 오게 되었습니다.

 

3가지 정도 질문 드리고 싶은데 한 번 남겨봅니다.


1. DBD 방전으로 저온플라즈마를 발생시킬 때, 일반적인 전극의 재질로 가장 대표적인 도체인 구리를 사용하거나, 구리 대신 STS 재질을 쓰는 것으로 알고 있는데요, STS를 쓰는 이유가 뭔지 궁금합니다. 합금이라 전극의 수명을 더 오래 늘리기 위함인가요?

또한 도체의 종류에 따라 플라즈마의 생성량 차이가 있는지도 궁금합니다.

 

2. 전압이 다를 수록 플라즈마의 생성량 차이가 있는지 궁금합니다.

있다면 전압-생성량 공식 또는 그래프에 대한 자료가 있을까요?

 

3. 저온플라즈마 발생 장치에 주입하는 소스 가스가 이산화탄소, 질소, 산소, 아르곤, 헬륨 등의 불활성가스로 알고 있는데, 반드시 이러한 특정한 gas들을 주입해야 되는 것인지, 아니면 불특정한 혼합 기체여도 반응을 안 하는 불활성가스이면 괜찮은 건지 궁금합니다.

만약 후자라면 상온 상압의 대기에 있는 공기를 소스 가스로 써도 되는 건가요?

 

답변 기다리겠습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102610
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61350
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73432
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105735
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 120
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 185
831 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 188
830 플라즈마 식각 커스핑 식각량 224
829 PEALD 챔버 세정법 [1] 243
828 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 256
827 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 263
826 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 286
825 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 296
824 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 299
823 플라즈마 설비에 대한 질문 301
822 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 324
821 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 333
820 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 334
819 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 337
818 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 342
817 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 347
816 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 347
815 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 351
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 365

Boards


XE Login