안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16912
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51351
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64223
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84301
692 plasma modeling 관련 질문 4
691 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 51
690 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 56
689 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 56
688 ESC DC 전극 Damping 저항 72
687 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 118
686 RF Sputtering Target Issue [1] file 123
685 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 130
684 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 132
683 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 143
682 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 147
681 Polymer Temp Etch [1] 150
680 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 150
679 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 152
678 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 154
677 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 165
676 plasma striation 관련 문의 [1] file 169
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 196
674 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 197
673 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 199

Boards


XE Login