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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69236
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816 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [1] 36
815 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 37
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 41
813 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 43
812 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 51
811 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 57
810 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 60
809 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 71
808 플라즈마 식각 커스핑 식각량 77
807 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 78
806 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 81
805 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 86
804 Druyvesteyn Distribution 87
803 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 88
802 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 92
801 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 102
800 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 106
799 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 113
798 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 115
797 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 127

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