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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86107
527 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 914
526 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 920
525 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 932
524 plasma 형성 관계 [1] 942
523 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 946
522 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 969
521 플라즈마 코팅 [1] 975
520 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 985
519 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 993
518 Group Delay 문의드립니다. [1] 995
517 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 996
516 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1000
515 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1005
514 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1005
513 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1007
512 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1023
511 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1024
510 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1028
509 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1036
508 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1043
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