안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [253] 76386
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19969
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57058
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68524
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91229
593 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 908
592 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 916
591 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 922
590 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 924
589 anode sheath 질문드립니다. [1] 929
588 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 932
587 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 940
586 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 944
585 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 945
584 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 945
583 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 945
582 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 957
581 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 976
580 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 979
579 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 979
578 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 979
577 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 980
576 고진공 만드는방법. [1] 988
575 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 993
574 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 996

Boards


XE Login