안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.

궁금한 점이 있어 문의 드립니다.

 - DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.

 - 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.

어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.

감사합니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76713
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20169
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68693
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92269
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 843
607 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 845
606 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 853
605 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 854
604 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 862
603 문의 드립니다. [1] 867
602 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 868
601 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 868
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 878
599 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 880
598 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 888
597 Plasma Generator 관련해서요. [1] 908
596 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 917
595 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
» Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 947
593 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 954
592 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957
591 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 957
590 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 961
589 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 966

Boards


XE Login