공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[179]
| 74892 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 18748 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 56228 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 66706 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 88072 |
518 |
쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.
[1] | 1055 |
517 |
low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
[1] | 1062 |
516 |
자기 거울에 관하여
| 1065 |
515 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1068 |
514 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1077 |
513 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1086 |
512 |
부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
[1] | 1097 |
511 |
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1103 |
510 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1110 |
509 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1119 |
508 |
ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
| 1120 |
507 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1121 |
506 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1125 |
505 |
Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
[1] | 1130 |
504 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1133 |
503 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 1133 |
502 |
I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 1138 |
501 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1141 |
500 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1156 |
499 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1160 |