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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73445
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105752
633 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1143
632 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1160
631 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1161
630 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1163
629 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1168
628 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1170
627 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1171
626 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1174
625 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"] [1] 1175
624 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1175
623 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1182
622 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1183
621 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 1187
620 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1193
619 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1196
618 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1202
617 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet] [1] 1205
616 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 1210
615 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1211
614 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1214

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