Plasma Source Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:951

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.

 

한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?

 

즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?

 

관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79227
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58059
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69616
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94401
623 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 900
622 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 906
621 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 909
620 RF 파워서플라이 매칭 문제 909
619 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 910
618 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 922
617 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 927
616 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 930
615 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 932
614 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 934
613 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 937
612 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정] [1] 939
» Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 951
610 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 962
609 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 978
608 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 986
607 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 988
606 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 994
605 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 995
604 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 997
쓰기
태그

Boards

XE Login