안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.

 

제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.

다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.

진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.

 

제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.

1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리

2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리

 

이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,

이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.

제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.

답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.

제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.

 

답변 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103280
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24711
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61516
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105937
634 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1140
633 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1145
632 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1167
631 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1169
630 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1170
629 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1172
628 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1172
627 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1178
626 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"] [1] 1179
625 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1182
624 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1184
623 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 1191
622 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1191
621 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1196
620 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1196
619 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1204
618 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1208
617 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet] [1] 1211
616 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1217
615 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1217

Boards


XE Login