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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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DC Plasma 전자 방출 메커니즘
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리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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571 |
Decoupled Plasma 관련 질문입니다.
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570 |
Plasma Arching
[1] | 1060 |
569 |
RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소
[1] | 1061 |
568 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1] | 1065 |
567 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 1069 |
566 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
[3] | 1074 |
565 |
전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스)
[1] | 1081 |
564 |
etch defect 관련 질문드립니다
[1] | 1083 |
563 |
공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
[2] | 1090 |
562 |
Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
[1] | 1090 |
561 |
엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 1112 |
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RF 반사파와 이물과의 관계
[1] | 1117 |
559 |
Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 1122 |
558 |
식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 1124 |
557 |
잔류시간 Residence Time에 대해
[1] | 1126 |
556 |
MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다.
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wafer bias
[1] | 1134 |
554 |
플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
[1] | 1135 |