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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
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PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
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PECVD 증착에서 etching 관계
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Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
[3] | 1178 |
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플라즈마 기초입니다
[1] | 1179 |
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RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1205 |
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[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문
[2] | 1226 |
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492 |
매칭시 Shunt와 Series 값
[1] | 1229 |
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491 |
Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1240 |
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490 |
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
[3] | 1242 |
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1] | 1252 |
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488 |
LF Power에의한 Ion Bombardment
[2] | 1261 |
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487 |
O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1270 |
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486 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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485 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1285 |
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484 |
MATCHER 발열 문제
[3] | 1292 |
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483 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1295 |
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482 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
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플라즈마 내에서의 현상
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1304 |
