안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76628
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20133
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57142
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68657
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92057
567 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1052
566 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1052
565 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1060
564 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1064
563 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1068
562 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1086
561 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1092
560 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1095
559 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1103
558 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1109
557 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1109
556 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1115
555 전자 온도 구하기 [1] file 1118
554 wafer bias [1] 1125
553 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1125
552 자기 거울에 관하여 1134
551 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1137
550 Group Delay 문의드립니다. [1] 1141
549 공정플라즈마 [1] 1141
548 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1144

Boards


XE Login