Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1394

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76978
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20332
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57253
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68801
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92795
581 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1021
580 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1024
579 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1027
578 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1029
577 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1035
576 플라즈마 코팅 [1] 1039
575 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1041
574 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1050
573 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1051
572 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1063
571 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1070
570 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1072
569 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1072
568 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1079
567 Plasma Arching [1] 1080
566 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1083
565 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1099
564 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1101
563 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1106
562 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1112

Boards


XE Login