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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
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546 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1153
545 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1154
544 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1157
543 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1159
542 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1162
541 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1164
540 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1173
539 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1179
538 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1187
537 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1218
536 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1218
535 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1223
534 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1233
533 플라즈마 챔버 [2] 1234
532 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1235
531 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1240
530 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1256
529 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1263
528 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1268

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