번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5815
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53083
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64490
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85105
438 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1429
437 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1441
436 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1459
435 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1463
434 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1465
433 CVD 공정에서의 self bias [1] 1484
432 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1490
431 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1492
430 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1501
429 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1513
428 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1522
427 질문있습니다. [1] 1527
426 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1535
425 터보펌프 에러관련 [1] 1538
424 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1557
423 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1565
422 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1575
421 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1585
420 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1591
419 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1594

Boards


XE Login