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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[143]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 1441 |
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ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1459 |
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435 |
Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1463 |
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434 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1465 |
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433 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 1484 |
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1490 |
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1492 |
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식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 1501 |
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RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1513 |
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Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 1522 |
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질문있습니다.
[1] | 1527 |
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ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
[2] | 1535 |
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425 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1538 |
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424 |
RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다.
[1] | 1557 |
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플라즈마 관련 기초지식
[1] | 1565 |
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422 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 1575 |
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DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 1585 |
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플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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