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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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559 |
RF 반사파와 이물과의 관계
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558 |
쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.
[1] | 1192 |
557 |
wafer bias
[1] | 1196 |
556 |
공정플라즈마
[1] | 1199 |
555 |
엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 1203 |
554 |
대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 1205 |
553 |
Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유
[1] | 1205 |
552 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1211 |
551 |
식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 1220 |
550 |
산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
[1] | 1224 |
549 |
전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스)
[1] | 1224 |
548 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1227 |
547 |
전자 온도 구하기
[1] | 1227 |
546 |
잔류시간 Residence Time에 대해
[1] | 1234 |
545 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1239 |
544 |
Uniformity 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1245 |
543 |
MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다.
[1] | 1250 |
542 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1259 |
541 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1274 |
540 |
RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1] | 1277 |