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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [253] 76392
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19973
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57060
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68531
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91235
493 plasma 형성 관계 [1] 1419
492 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1424
491 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1428
490 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1430
489 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1434
488 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1437
487 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1440
486 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1441
485 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1443
484 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1443
483 charge effect에 대해 [2] 1445
482 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1447
481 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1454
480 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1507
479 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1518
478 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1531
477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1546
476 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1555
475 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1558
474 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1568

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