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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65113
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398 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1983
397 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1996
396 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2016
395 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2021
394 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2027
393 Wafer particle 성분 분석 [1] 2029
392 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2050
391 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2078
390 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2088
389 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2125
388 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2144
387 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2162
386 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2162
385 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2184
384 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2199
383 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2227
382 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2237
381 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2241
380 Plasma etcher particle 원인 [1] 2253
379 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2253
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