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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
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477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1553
476 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1560
475 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1563
474 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1576
473 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1578
472 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1584
471 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1610
470 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1629
469 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1645
468 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1649
467 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1653
466 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1667
465 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1669
464 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1671
463 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1676
462 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1697
461 터보펌프 에러관련 [1] 1723
460 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1729
459 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1737
458 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1762

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