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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73452
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533 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [O2 plasma, ion sputtering] [1] 1641
532 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 1645
531 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor] [1] 1653
530 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1661
529 잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드] [1] 1666
528 강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net] [2] 1672
527 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1674
526 플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건] [2] 1684
525 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 1685
524 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1705
523 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 1708
522 low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전] [1] 1727
521 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning] [1] 1733
520 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1735
519 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1740
518 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1742
517 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1756
516 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1759
515 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1763
514 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1773

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