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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[143]
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 17355 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 53178 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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398 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 1983 |
397 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 1996 |
396 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2016 |
395 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2021 |
394 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2027 |
393 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 2029 |
392 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2050 |
391 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2078 |
390 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2088 |
389 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2125 |
388 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2144 |
387 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2162 |
386 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2162 |
385 |
플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
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384 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2199 |
383 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 2227 |
382 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2237 |
381 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2241 |
380 |
Plasma etcher particle 원인
[1] | 2253 |
379 |
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
| 2253 |