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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
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498 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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497 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1512 |
496 |
OES 분석 관련해서 질문드립니다.
[1] | 1513 |
495 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1518 |
494 |
알고싶습니다
[1] | 1521 |
493 |
charge effect에 대해
[2] | 1559 |
492 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1566 |
491 |
ICP lower power 와 RF bias
[1] | 1571 |
490 |
N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
[1] | 1577 |
489 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1583 |
488 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1593 |
487 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1596 |
486 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1612 |
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PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1617 |
484 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1623 |
483 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1646 |
482 |
plasma 형성 관계
[1] | 1647 |
481 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1661 |
480 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1669 |