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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65685
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385 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2248
384 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2263
383 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2264
382 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2276
381 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2284
380 Plasma etcher particle 원인 [1] 2308
379 임피던스 매칭회로 [1] file 2310
378 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2318
377 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2342
376 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2413
375 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2457
374 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2458
373 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2476
372 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2482
371 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2497
370 PR wafer seasoning [1] 2509
369 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2525
368 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2574
367 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2602
366 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2606
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