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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
443 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1920
442 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1925
441 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1944
440 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1947
439 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1947
438 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1947
437 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1948
436 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1950
435 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1950
434 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1950
433 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1961
432 chamber impedance [1] 2003
431 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2038
430 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2089
429 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2092
428 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2117
427 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2164
426 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2177
425 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2203
424 플라즈마볼 제작시 [1] file 2214

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