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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
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436 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1909
435 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1922
434 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1936
433 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1938
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431 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2011
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429 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2072
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427 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2132
426 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2155
425 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2178
424 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2190
423 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2190
422 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2191
421 플라즈마볼 제작시 [1] file 2204
420 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2209
419 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2216
418 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2219

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