번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76431
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19995
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57067
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91342
417 etching에 관한 질문입니다. [1] 2222
416 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2225
415 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2225
414 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2247
413 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2257
412 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2262
411 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2262
410 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2269
409 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2272
408 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2273
407 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2279
406 Wafer particle 성분 분석 [1] 2280
405 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2314
404 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2317
403 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2332
402 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2356
401 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2405
400 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2407
399 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2415
398 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2438

Boards


XE Login