번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76426
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91340
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 189
755 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 194
754 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 202
753 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 213
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 218
751 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 219
750 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 222
749 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 248
748 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 257
747 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 259
746 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 270
745 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 273
744 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 281
743 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 285
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 287
741 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 288
740 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 297
739 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 309
738 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 315
737 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 317

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