플라즈마 응용 연구실의 질문방에 오신 것을 환영합니다! 이 Q&A 게시판에는 2004년부터 플라즈마에 대해 받은 질문과 그 대답이 정리되어 있습니다. 이 방대한 자료 속에서 자신에게 필요한 내용을 더 쉽고 빠르게 찾기 위한 방법을 알려드리겠습니다.

 

 

1. 키워드로 검색하기

 

내게 필요한 정보를 빠르게 찾기 위해서는 먼저 검색창을 이용해봅시다.

 

QA 길잡이 1.png

 

 

위 그림과 같이 질문방 화면 좌측 하단에는 돋보기 아이콘이 있습니다. 이 돋보기 아이콘을 클릭하면 다음과 같이 검색창이 나타납니다.

 

QA 길잡이 2.png

 

자신이 궁금한 내용의 핵심 키워드를 이 검색창에 입력하여 검색해보면 자신이 가진 질문과 유사한 질문 및 그에 대한 답변을 찾을 수 있을 것입니다.

 

 

2. 내용으로 찾아보기

 

QA 길잡이 3.png

 

질문방에 들어오면 위 그림과 같이 여러 개의 탭에 따라 질문과 답변이 분류되어 있는 것을 볼 수 있습니다. 여기서 맨 위의 큰 탭 5개가 Plasma in general 부터 Process까지의 대분류 5가지를 나타내고 있습니다. 한 대분류를 클릭했을 때 대분류 아래에 나타나는 작은 탭들은 그 대분류에 속하는 소분류를 나타내고 있습니다. 만약 키워드 검색만으로는 자신에게 필요한 내용을 찾지 못하였다면, 자신의 질문과 관련된 내용이 있는 탭의 게시물들을 읽어보며 자신에게 필요한 내용을 찾아볼 수 있을 것입니다.

 

아래의 표에는 각 대분류 별 소분류 및 세부 분류가 정리되어 있습니다. 이 글의 첨부 파일 QA_분류_정의및설명.pdf에는 각 분류에 대한 상세한 설명과 참고할 만한 자료가 정리되어 있으니, 부디 첨부파일을 내려받아 읽어보시기 바랍니다.

 

연구 또는 궁금증 해결에 도움이 되는 내용을 찾을 수 있기를 바랍니다.

 

QA category 1.png

 

QA category 2.png

 

QA category 3.png

 

QA category 4.png

 

QA category 5.png

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79228
» Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58059
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69617
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94401
803 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 184
802 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 184
801 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 188
800 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 194
799 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 195
798 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 199
797 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 201
796 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 203
795 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 204
794 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 205
793 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 206
792 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 206
791 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 207
790 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 211
789 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 212
788 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 213
787 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 223
786 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 226
785 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 227
784 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 229

Boards


XE Login