Plasma in general RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral]

2024.08.22 13:20

도예준 조회 수:550

김곤호 교수님께

 

안녕하세요 교수님 저는 부산대학교 전기공학과에 재학 중인 2학년 도예준입니다.  Francis.F.Chen의 [Introduction to plasma physics and controlled fusion]을 읽어보며 플라즈마 공부를 하던 중 궁금한 점이 생겨 질문글을 올리게 되었습니다. QnA 게시판에 올라와있는 질문들에 비해서 비교적으로 수준이 낮은 질문이겠지만 최대한 열심히(?) 질문을 올리겠습니다.

 


RF플라즈마의 경우, DC와 다르게 부도체에서도 플라즈마를 만들 수 있기 때문에 사용된다고 알고 있습니다. RF에서 전자는 양극쪽으로 움직이고 이온은 비교적 챔버 중간부분에 있는 것 같은데 어떻게 quasineutral한 상태가 이루어져 플라즈마라고 할 수 있는 건지 궁금합니다. 질문에 대한 제 생각을 파일로 첨부하겠습니다.
 

 

플라즈마 공부를 시작하는 단계라 질문의 quality가 낮다거나 질문 자체가 틀릴 수도 있겠지만 너그러이 양해해주시면 감사하겠습니다. 긴 글 읽어주셔서 감사합니다. 행복하고 좋은 하루 되세요!

도예준 올림

이 게시물을
Profile
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102618
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61354
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73436
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105739
813 Druyvesteyn Distribution 369
812 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 372
811 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 383
810 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 387
809 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 391
808 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 401
807 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 402
806 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 405
805 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 410
804 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 412
803 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 416
802 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 424
801 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 426
800 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 426
799 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 429
798 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 431
797 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 432
796 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 437
795 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 437
794 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 447
쓰기
태그

Boards

XE Login