김곤호 교수님께

 

안녕하세요 교수님 저는 부산대학교 전기공학과에 재학 중인 2학년 도예준입니다.  Francis.F.Chen의 [Introduction to plasma physics and controlled fusion]을 읽어보며 플라즈마 공부를 하던 중 궁금한 점이 생겨 질문글을 올리게 되었습니다. QnA 게시판에 올라와있는 질문들에 비해서 비교적으로 수준이 낮은 질문이겠지만 최대한 열심히(?) 질문을 올리겠습니다.

 


RF플라즈마의 경우, DC와 다르게 부도체에서도 플라즈마를 만들 수 있기 때문에 사용된다고 알고 있습니다. RF에서 전자는 양극쪽으로 움직이고 이온은 비교적 챔버 중간부분에 있는 것 같은데 어떻게 quasineutral한 상태가 이루어져 플라즈마라고 할 수 있는 건지 궁금합니다. 질문에 대한 제 생각을 파일로 첨부하겠습니다.
 

 

플라즈마 공부를 시작하는 단계라 질문의 quality가 낮다거나 질문 자체가 틀릴 수도 있겠지만 너그러이 양해해주시면 감사하겠습니다. 긴 글 읽어주셔서 감사합니다. 행복하고 좋은 하루 되세요!

도예준 올림

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82902
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22005
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58788
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70428
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96429
804 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 207
803 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 211
802 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 219
801 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 226
800 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 228
799 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 229
798 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 229
797 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 236
796 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 242
795 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 244
794 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 246
793 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 247
792 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 249
791 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 251
790 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 257
789 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 257
788 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 262
787 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 270
786 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 277
785 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 277

Boards


XE Login