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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68679
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92193
407 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
406 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2336
405 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2360
404 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2370
403 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2377
402 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2430
401 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2433
400 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2439
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398 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2490
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395 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2575
394 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2580
393 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2626
392 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2634
391 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2684
390 PR wafer seasoning [1] 2699
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388 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2731

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