안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75741
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19424
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56652
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67977
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90171
377 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2752
376 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2775
375 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 2813
374 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 2824
373 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2903
372 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2913
371 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2965
370 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3056
369 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3063
368 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3085
367 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3088
366 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3143
365 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3168
364 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3169
363 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3203
362 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3224
361 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3228
360 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3232
359 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3289
358 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3307

Boards


XE Login